掃描電鏡是一種強(qiáng)大的成像工具，利用高能電子束掃描樣品表面，產(chǎn)生二次電子、反向散射電子和特征X射線(xiàn)等信號(hào)，從而形成高分辨率圖像。其工作原理包括電子源、電子透鏡、樣品臺(tái)和探測(cè)器等部分。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、電子工程等領(lǐng)域。它主要用于觀察樣品的表面形貌、微觀結(jié)構(gòu)和組成。